2026-05-15 — 次浏览 $LRCX · Lam Research · 刻蚀 · 沉积 · 清洗 · WFE — 刻蚀 + 3D 扩展
Lam Research(LRCX)— 高深宽比刻蚀领先,直接杠杆 HBM
LRCX 拥有高深宽比(HAR)刻蚀——在 200+ 层的 3D NAND 与 DRAM 堆叠中雕出深窄孔洞的腔体工具。最干净的 WFE 对 HBM 量产成长的杠杆押注。
Lam Research(NASDAQ:LRCX)是营收第二大的 WFE 公司,刻蚀专家。AMAT 卖广度,Lam 在较窄的范围走深——刻蚀为主,沉积(ALD、PECVD)与晶圆清洗为辅。窄聚焦意味着 Lam 直接杠杆于特定结构性趋势:HBM、3D NAND 扩展、Gate-All-Around(GAA)晶体管。对开发者而言,Lam 是存储循环 + 3D 扩展最纯粹的读法。
三条产品线,刻蚀是王牌
| 区段 | 做什么 | Lam 旗舰 |
|---|---|---|
| 刻蚀 | 雕刻晶圆特征——导体、介电、深硅 | Kiyo(导体)、Flex(介电)、Sense.i(先进节点) |
| 沉积 | 铺设薄膜——ALD W、PECVD、电镀 | ALTUS、VECTOR、SABRE |
| 清洗 | 制程步骤间移除残留与污染 | Coronus、Da Vinci |
刻蚀约占 Lam 营收一半,是竞争护城河的来源。Lam 累计出货 100,000+ 刻蚀腔体,这个安装基底在配方开发上产生复利优势。
高深宽比刻蚀 — HBM 护城河
2024-2026 的 HBM 热潮本质上是3D NAND / 3D DRAM 堆叠故事。HBM 将 8、12 或 16 层 DRAM 晶粒垂直堆叠,靠 TSV 连接。TSV 本身需要 Lam 的 HAR 刻蚀能力——在 100+ 微米硅中钻出深窄垂直孔。
除了 HBM,3D NAND 扩展也依赖同样的 HAR 刻蚀能力。现代 NAND 已超过 200 层;每一层都需要精准的垂直刻蚀。Lam 并非绝对垄断——Tokyo Electron 在先进节点是可信竞争者——但 Lam 出货的最深 HAR 刻蚀腔体在量产中占绝对主流。
对思考 AI 存储的开发者来说:每一片运往 NVDA、AMD 或任何超大规模买家的 HBM3、HBM3E、HBM4 模组,供应链中都用了 Lam 的 HAR 刻蚀腔体。“AI 训练算力成长”到”Lam 订单成长”的路径比任何其他 WFE 名字都短而直接。
Gate-All-Around(GAA)— 逻辑节点押注
第二个成长向量是 2nm 以下从 FinFET 转向 GAA 晶体管。GAA 引入新的刻蚀挑战:精准移除牺牲层、原子尺度选择性、极干净的刻蚀后表面。Lam 已布局多年,Sense.i 是先进节点刻蚀旗舰。如果 TSMC N2 与 Samsung 2nm GAA 如期爬坡,Lam 每片晶圆刻蚀金额将相对 FinFET 增加。
为什么开发者要关心
- 存储循环曝险:HBM 为 AI 结构性成长,传统 DRAM/NAND 是循环性的。Lam 比 AMAT 更受循环影响。
- 3D 扩展不可选:不论存储或逻辑,产业都在垂直化。HAR 刻蚀产能是约束条件,Lam 是少数有腔体技术的供应商。
- 集中是代价:聚焦在顺风时是杠杆,逆风时是曝险。
实践者笔记
- 领先指标是 HBM 产能宣告:SK Hynix、Samsung、Micron 的 HBM 扩产计划 1-2 季后流向 Lam 刻蚀订单。看存储厂的法说,不只是 Lam 的。
- 服务组合比 AMAT 弱:Lam 服务业务存在但占比较小,系统营收波动主导。
- GAA 时程是观察项:TSMC N2 量产爬坡(目前规划 2025 末至 2026 初)是把 GAA 从 R&D 转成营收的触发。延后即推迟 Lam 上行空间。
- 中国曝险显著:管制收紧前 Lam 中国营收占比高于 AMAT。出口管制演变是模型最大的单一监管风险。
被低估的角度:清洗是安静的成长区段。Coronus 与 Da Vinci 清洗工具在每个制程步骤之间都需要,而制程步骤数随节点复杂度增加。每片晶圆的清洗工具用量持续成长,虽不亮眼但是结构性复利。