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AI-Daily-Builder

2026-05-15 次瀏覽 $LRCX · Lam Research · 蝕刻 · 沉積 · 清洗 · WFE — 蝕刻 + 3D 擴展

Lam Research(LRCX)— 高深寬比蝕刻領先,直接槓桿 HBM

LRCX 擁有高深寬比(HAR)蝕刻——在 200+ 層的 3D NAND 與 DRAM 堆疊中雕出深窄孔洞的腔體工具。最乾淨的 WFE 對 HBM 量產成長的槓桿押注。

Lam Research(NASDAQ:LRCX)是營收第二大的 WFE 公司,蝕刻專家。AMAT 賣廣度,Lam 在較窄的範圍走深——蝕刻為主,沉積(ALD、PECVD)與晶圓清洗為輔。窄聚焦意味著 Lam 直接槓桿於特定結構性趨勢:HBM、3D NAND 擴展、Gate-All-Around(GAA)電晶體。對開發者而言,Lam 是記憶體循環 + 3D 擴展最純粹的讀法。

三條產品線,蝕刻是王牌

區段做什麼Lam 旗艦
蝕刻雕刻晶圓特徵——導體、介電質、深矽Kiyo(導體)、Flex(介電質)、Sense.i(先進節點)
沉積鋪設薄膜——ALD W、PECVD、電鍍ALTUS、VECTOR、SABRE
清洗製程步驟間移除殘留與汙染Coronus、Da Vinci

蝕刻約佔 Lam 營收一半,是競爭護城河的來源。Lam 累計出貨 100,000+ 蝕刻腔體,這個安裝基底在配方開發上產生複利優勢。

高深寬比蝕刻 — HBM 護城河

2024-2026 的 HBM 熱潮本質上是3D NAND / 3D DRAM 堆疊故事。HBM 將 8、12 或 16 層 DRAM 晶粒垂直堆疊,靠 TSV 連接。TSV 本身需要 Lam 的 HAR 蝕刻能力——在 100+ 微米矽中鑽出深窄垂直孔。

除了 HBM,3D NAND 擴展也依賴同樣的 HAR 蝕刻能力。現代 NAND 已超過 200 層;每一層都需要精準的垂直蝕刻。Lam 並非絕對壟斷——Tokyo Electron 在先進節點是可信競爭者——但 Lam 出貨的最深 HAR 蝕刻腔體在量產中佔絕對主流。

對思考 AI 記憶體的開發者來說:每一片運往 NVDA、AMD 或任何超大規模買家的 HBM3、HBM3E、HBM4 模組,供應鏈中都用了 Lam 的 HAR 蝕刻腔體。「AI 訓練算力成長」到「Lam 訂單成長」的路徑比任何其他 WFE 名字都短而直接。

Gate-All-Around(GAA)— 邏輯節點押注

第二個成長向量是 2nm 以下從 FinFET 轉向 GAA 電晶體。GAA 引入新的蝕刻挑戰:精準移除犧牲層、原子尺度選擇性、極乾淨的蝕刻後表面。Lam 已布局多年,Sense.i 是先進節點蝕刻旗艦。如果 TSMC N2 與 Samsung 2nm GAA 如期爬坡,Lam 每片晶圓蝕刻金額將相對 FinFET 增加。

為什麼開發者要關心

  1. 記憶體循環曝險:HBM 為 AI 結構性成長,傳統 DRAM/NAND 是循環性的。Lam 比 AMAT 更受循環影響。
  2. 3D 擴展不可選:不論記憶體或邏輯,產業都在垂直化。HAR 蝕刻產能是約束條件,Lam 是少數有腔體技術的供應商。
  3. 集中是代價:聚焦在順風時是槓桿,逆風時是曝險。

實踐者筆記

被低估的角度:清洗是安靜的成長區段。Coronus 與 Da Vinci 清洗工具在每個製程步驟之間都需要,而製程步驟數隨節點複雜度增加。每片晶圓的清洗工具用量持續成長,雖不亮眼但是結構性複利。


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