2026-06-06 — 次瀏覽 $LRCX · Lam Research · Kallisto / Phoenix electrochemical deposition (ECD) platforms · advanced packaging / panel-level packaging (back-end)

Lam Research 在薩爾斯堡啟用面板級封裝中心，Rapidus 鎖定 600mm 玻璃中介層

Lam Research 於 2026 年 5 月 20 日在奧地利薩爾斯堡啟用面板級封裝卓越中心，展示其 Kallisto ECD 與高產能 Phoenix 電鍍平台；產業媒體報導日本 Rapidus 正採用 Lam 的面板工具，在 600mm 方形玻璃中介層上建構重佈線層，用於鎖定 2028 年量產的 2.xD 封裝。

Lam 把封裝戰場從圓晶圓移向方形面板

2026 年 5 月 20 日，Lam Research 在奧地利薩爾斯堡啟用面板級封裝（PLP）卓越中心——這是一座專為處理方形與矩形基板而打造的研發暨客戶協作實驗室，取代數十年來定義後段封裝的 300mm 圓晶圓。「我們薩爾斯堡據點的擴張，反映了對先進封裝的長期投資，」濕式設備技術系統企業副總裁暨總經理 Aaron Fellis 表示。薩爾斯堡邦州長 Karoline Edtstadler 稱此次啟用「印證了我們作為高科技據點的地位」。

薩爾斯堡實驗室是兩款電化學沉積（ECD）平台的展示場，這兩款平台支撐著 Lam 的面板野心：

平台	角色	基板處理（依 Lam 產品頁面）
Kallisto	研發／小量 ECD；在有機與玻璃核心基板上進行低於 10 微米的細線電鍍	300x300mm 至 1100x1300mm（Gen5.1）
Phoenix	用於凸塊、銅柱、RDL、TGV、FLI 的大量製造 ECD	針對 510x515mm 面板最佳化

產業媒體（TrendForce、Digitimes）報導，Phoenix 產線相較於 Kallisto 的研發級節奏，將產能約提升四倍至每小時約 120 片面板——Lam 自家頁面列出了製程選單與面板格式，但未公布每小時面板數的數字，因此應將此產能數字視為產業媒體所載、由供應商引導的估計值，而非規格表數值。

為何選面板，又為何在此時

面板級封裝的經濟邏輯在於面積利用率。圓晶圓浪費了角落；矩形面板在每一道製程中能拼出多得多的晶粒與封裝面積，這在 AI 加速器把封裝尺寸推升至遠超單一光罩、並堆疊越來越多高頻寬記憶體之際，意義極為重大。Lam 在其 2026 財年第三季財報電話會議（2026 年 4 月 22 日）上勾勒出更廣泛的機會，管理層表示先進封裝營收「預期在 2026 日曆年超過 50%」，由與 HBM 相關的銅電鍍與矽穿孔蝕刻需求所驅動。這較公司在此週期較早所給出的「超過 40%」是向上修正。

Rapidus 訊號

薩爾斯堡的消息伴隨著更具體的拉動效應。2026 年 5 月 26 日，TrendForce——引述 EE Times Japan 與日經（Nikkei）報導——表示日本 Rapidus 正採用 Lam 的面板級解決方案，用於一套直接在 600mm 方形玻璃載板上形成重佈線層的 2.xD 封裝方案。所報導的路線圖將 2027 年 2nm 邏輯量產與 2028 年玻璃中介層量產配對，並點名 Kallisto 對 600mm 面板與低於 10 微米電鍍的支援是關鍵環節。

玻璃作為中介層材料是這裡被低估的一條主線。相較於有機疊層或矽中介層，玻璃面板提供更佳的尺寸穩定性、可調的熱膨脹係數以及大尺寸可擴展性——但它們也帶來翹曲、共平面性與處理上的難題，而濕式製程工具必須在面板規模上解決這些問題。這正是 Lam 將 Kallisto 與 Phoenix 對準的問題集，也是為何一項晶圓代工規模的客戶承諾（即使只是被報導的）比再開一座實驗室更為重要。

從業者筆記

對於任何追蹤晶圓設備後段的人而言，可解讀為：封裝 ECD 競賽正整合為一場面板格式的軍備競賽，而 Lam 正在玻璃上插旗。留意三項確認：(1) Rapidus 的合作是否從「據報導」轉為具名的指定工具（tool-of-record）揭露，(2) Lam 的「超過 50%」先進封裝成長是否在其下一次財報更新時維持，以及 (3) 競爭對手是否以自家的大尺寸面板 ECD／電鍍路線圖回應，而非讓出此格式。資本支出故事已經轉變——封裝支出的邊際一美元，越來越多地買的是方形面板濕式工具，而不只是前段沉積與蝕刻。

被低估的角度：地理。一座位於薩爾斯堡的旗艦 PLP 中心，再加上一位被報導採用玻璃的日本晶圓代工客戶，悄然將先進封裝的技術知識從其重度集中於台灣／韓國的態勢中分散開來。倘若玻璃上的面板級封裝成為下一代 AI 模組的首選基板，後段價值的重心或將轉向最先把濕式化學與處理工業化的一方——而那是一張在區域與供應商上，與人人關注的前段 EUV 地圖看起來大不相同的地圖。